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潔淨技術

非單向流潔淨室自淨能力檢測及潔淨室氣流檢測

發表時間:2018-06-29 16:40:48瀏覽量:


潔淨室氣流檢測

6. 6.1 潔淨室氣流檢測應符合下列規定:
   1 不應用氣流動態數值模擬(CFD)的分析結果代替潔淨室氣流檢測;
   2 氣流檢測包括氣流流型、氣流流向、流線平行性等,可采用絲線法或示蹤劑法(發煙等)等,逐點觀察和記錄氣流流向,並可用量角器測量氣流角度,也可采用照相機或攝像機等圖像處理技術進行記錄,采用熱球式風速儀或超聲三維風速儀等測量各點氣流速度;
   3 采用絲線法時可采用尼龍單絲線、薄膜帶等輕質材料,放置在測試杆的末端,或裝在氣流中細絲格柵上,直接觀察出氣流的方向和因幹擾引起的波動;
   4 采用示蹤劑法時,可采用去離子(DI)水,用固態二氧化碳(幹冰)或超聲波霧化器等生成直徑為0.5μm~50μm的水霧,采用四氯化鈦(TiCl4)等“酸霧”作示蹤劑時,應確保不致對潔淨室、室內設備以及操作人員產生危害。


6.6.2 潔淨室氣流檢測應按下列步驟及方法進行:
   1 氣流流型檢測時,對於垂直單向流潔淨室可選擇潔淨室縱、橫剖麵各一個,以及距地麵高度0.8m、1. 5m的水平麵各一個;水平單向流潔淨室可選擇縱剖麵和工作區高度水平麵各一個,以及距送、回風牆麵0.5m和房間中心處等3個橫剖麵。所有麵上的測點間距均應為0.2m~1. 0m。對於亂流潔淨室,應選擇通過代表性送風口中心的縱、橫剖麵和工作區高度的水平麵各1個,剖麵上的測點間距應為0.2m~0.5m,水平麵上的測點間距應為0.5m~1.0m。兩個風口之間的中線上應設置測點;
   2 氣流流向檢測時,應在被測區域內前後之間設置多個測點;
   3 流線平行性檢測時,應在每台過濾器下設置測點。


非單向流潔淨室自淨能力檢測

6.7.1 非單向流潔淨室自淨能力檢測應符合下列規定:
   1 非單向流潔淨室自淨能力檢測宜適用於ISO6級和ISO7級潔淨室,對於更低級別的潔淨室不宜檢測;
   2 自淨能力檢測可采用計算自淨時間和實測自淨時間比對的方法,具體檢測方法應符合現行國家標準《潔淨室施工及驗收規範》GB 50591的規定;
   3 宜采用100:1自淨時間檢測法進行檢測,同時采用大氣塵或人工塵源,采用粒子計數器測試。

6.7.2 非單向流潔淨室自淨能力檢測應按下列步驟及方法進行:
   1 將室內濃度升高到100倍的潔淨室級別上限濃度,采用塵埃粒子計數器對室內潔淨度進行間隔1min的連續檢測,記錄達到級別上限濃度所需要的時間;
   2 自淨速率、100:1



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