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無塵車間無塵室設計時應考濾的五個關鍵點

發表時間:2019-11-26 11:39:12瀏覽量:

無塵室,無塵淨化室設計,無塵室設計時應考濾的五個特性:許多了解無塵室的人都讚同,第一次擁有無塵室的擁有者,應使用較好之C/R建築或工程設計公司或了解建築C/R設計之建築承包商若假設他們不了解,則必會浪費一大筆不必要花的錢,故選擇一建造C/R的公司也是非常重要的。

 

  (l)耐久性;(2)成本;(3)適應性;(4)可維護性;(5)清洗。

 

  (1)耐久性:

 

  無塵室要有符合環境、無塵室內部的清洗溶液及振動、設備、空氣過濾係統的耐久材料。而耐久性,同時也依賴無塵室等級來建造。半導體Fabs傾向選擇鋁,基於它的耐久性,然而,它不是便宜的物質。

 

  (2)清洗:

 

  在製藥和生物工學工業,無塵室的牆壁需要有容易被清洗和擦拭,直到防止濾過性病毒或細菌的汙染之特性。在biotech市場,清洗真正地是一個最重要的企業。

 

  (3)成本:

 

  微電子C/R建設費可能花費到$10億。fab能更快的被建造起來,產品也就能更快達到這市場。許多半導體公司的口號是較便宜和較好的。然而“錢”將成為一個很重要的考慮因素。

 

  (4)適應性:

 

  一些廠商認為適應性可節省一筆金錢,而適應性意指係統可任意移動或改變而不會招致極大的損失。C/R的擁有者和設計者的能力為改變一C/R的關鍵,所以他們從不將最初的設計定型。

 

  (5)維護性:

 

  對無塵室C/R而言,較嚴格要求的部分為地板、天花板,以及牆壁的部分。至於維修的問題,對材料的選擇是否容易清潔性及維修性都應有其優先級。在應用力麵、天花板、地板及牆壁三者之中最重要的為天花板,其包含HEPA及ULPA等濾網,其可過濾掉房間的微粒子,且其常會因各個不同的需要,便其分開來,供應各個不同區域的小房間,曾有人說:若建造之預算因某種原因被限製,除了少數的小錢外,其天花板將趨於更貴的地步,其實天花板是一個頗複雜的係統其必須嚴格地過濾粒子,故其設計必須精確。

 

  

  對C/R而言,其選擇地板的材料也是很重要的。低廉的C/R地板覆蓋著一層乙烯基在薄板上,若太硬的地板覆蓋會引起塵埃,而太軟的地板會造成地板彎曲甚致破裂,但並不是所有C/R的地板,都會覆蓋,乙烯基。有些地板是衝孔式、格子式,而全麵層流都是衝孔式。

 

  乙烯基有一作用即脫氧,但高濃度乙烯基與其它物若混合的話將會有減低脫氧的效果,而無塵室的牆若以鋁作為材料則將會非常昂貴,但鋁卻可以保護牆麵不被空氣所氧化,可是卻易受酸性氣體的侵蝕,而避免的方法是使用電鍍,便鋁表麵增厚,不易氧化,再在鋁表麵上再塗上一層亮光漆即可防止金屬氧化。

 

  對於半導體工業而言,無塵室是一必要且不可缺之設備,其對空氣中的粒子要求非常之嚴格,故對天花板、牆壁、地板的要求亦非常嚴格。地板是人員、台車及重量的運輸,而清除地板所用者大部分為消毒藥品及化學藥品,當草莓视app安卓黄下载幸福宝看見地板磨損時,也就是使用期已太久,快破裂了,不僅會使得清靜度的降級,也會因地板的磨損而發生空氣中粒子的增加。

 

  另外,C/R最怕的就是粒子泄漏。天花板中的濾網有很多種。例如層流式C/R而花板的組成組件包含了HEPA/ULPA濾網組燈光組亦有可能包含空白的嵌板,這類型的天花板優點為,放置方式並沒有嚴格的限製。

 

  C/R之牆壁還有一種是以薄鋼製成,但必須在表層塗上一層保護層,否則亦會腐蝕,它並不容易電鍍,而在表層塗上的保護層會變得易碎,很容易剝落,但若選擇高質量的不鏽鋼,就不必塗上保護層7,而使用玻璃作的C/R會使得房間的光線大增,以及美觀,但必須塗上一抗紫外線的障礙物,且可以視覺互通,較不會產生幽閉恐懼症。


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